Талшықты нано кремний бар магнетронды шашыратылған монокристалды емес кремнийлі жұқа қабықшалардың электронды микроскопиясы

Авторы

  • K. Толубаев Қарағанды индустриялық университеті
  • Б. Жаутиков Қарағанды индустриялық университеті
  • Н. Зобнин Қарағанды индустриялық университеті
  • Г. Даирбекова Satbayev University
  • С. Кабиева Қарағанды индустриялық университеті
  • Риад Аль-Касасбех Иордания университеті

##plugins.pubIds.doi.readerDisplayName##:

https://doi.org/10.51301/ejsu.2024.i5.03

Ключевые слова:

талшықты наносиликон, электронды микроскопия, идеалдылық емес, монокристалдылық емес, магнетрондық шашырау, аморфты кремний, кристалды кремний, қабықша

Аннотация

Мақалада магнетронды бүрку арқылы алынған нано кремнийдің бұрын зерттелмеген түріне негізделген кремний пленкасының жаңа түрінің микроқұрылымының ерекшеліктері қарастырылады. Микроқұрылымдық талдау JEOL JSM-6490LA растрлық электронды микроскопында, JEM2100 электронды трансмиссиялық микроскопында және Ntegra Therma атомдық күштік микроскопында (AFM) жүргізілді. Кремний пленкаларының Раман спектроскопиялық талдауы Horiba system Jobin – Yvon HR800UV (Франция) маркалы жүйесінде жүргізілді. Кремний пленкаларын алудың зерттелген жағдайында нано кремнийдің жаңа түрі диаметрі 10-нан 150 нм-ге дейінгі талшықтармен ұсынылатыны анықталды. Микроқұрылымдық тұрғыдан алғанда, кремний пленкасы нано кремний талшықтарының бір-бірімен араласуы нәтижесінде пайда болатын кеуекті жасушалық құрылымға ие болады. Жасушалардың ені мен ұзындығы сәйкесінше 1 және 3 мкм болатын ұзартылған сопақша пішіні бар. Алынған микрографтар полиморфизмнің визуалды картасын әрі қарай жіктеу және кремнийдің нано құрылымдарының идеалдығын емес, құрамында кремнийдің әртүрлі полиморфты модификациялары бар жұқа кремний пленкаларын жасау кезінде алынған ұқсас деректермен салыстырылады. Зерттеу барысында алынған кеуекті құрылымы бар нано өлшемді кремний анодтары LIB зарядтау процесінде литизацияға тезірек ұшырайды және цикл арқылы аз ыдырайтыны анықталды.

Загрузки

Опубликован

2024-10-31

Как цитировать

Tolubaev, K. ., Zhautikov, B. ., Zobnin, N. ., Dairbekova, G. ., Kabieva, S. ., & Al-Kasasbeh , R. (2024). Талшықты нано кремний бар магнетронды шашыратылған монокристалды емес кремнийлі жұқа қабықшалардың электронды микроскопиясы. Engineering Journal of Satbayev University, 146(5), 18–24. https://doi.org/10.51301/ejsu.2024.i5.03

Выпуск

Том 146 № 5 (2024): Engineering Journal of Satbayev University

Раздел

Металлургия

Лицензия

Copyright (c) 2024 Engineering Journal of Satbayev University

Лицензия Creative Commons

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution-NonCommercial-NoDerivatives» («Атрибуция — Некоммерческое использование — Без производных произведений») 4.0 Всемирная.

<div class="pkpfooter-son">
<a rel="license" href="http://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/"><img alt="Creative Commons License" style="border-width:0" src="https://i.creativecommons.org/l/by-nc/4.0/80x15.png"></a><br>This work is licensed under a <a rel="license" href="http://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/">Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License</a>.
</div>