Получение наночастиц меди в плазме комбинированного ВЧ+DС разряда

Аннотация

Наночастицы меди завоевывают все больше внимания исследователей благодаря таким своим свойствам, как высокая электрическая проводимость, хорошо выраженные каталитический и противомикробный эффекты, и пр. Спектр применения их достаточно широк – это медицина, микроэлектроника и др. На сегодняшний день разработаны и успешно применяются различные методы синтеза медных наночастиц, в частности химические, электрохимические, сонохимические и.т.д. Но существенный недостаток подобных методов – неудовлетворительная чистота получаемого наноматериала. В данной работе для получения частиц Cu применялся комбинированный высокочастотный разряд с дополнительным постоянным напряжением (RF/DC). Была разработана методика получения медных частиц нанометрового размера и изучены ее возможности, и как показал дальнейший анализ с помощью сканирующего электронного микроскопа, частицы обладают сферической формой с диаметрами в диапазоне от 60 нм до 240 нм.