Структурно-фазовые состояния покрытий из тантала на подложке из никелида титана при магнетронном осаждении

Аннотация

В работе приводятся результаты исследований структурно-фазового состояния покрытий из тантала полученных методом магнетронного осаждения на подложках из никелида титана в аустенитно-мартенситном состоянии, т.е. с эффектом памяти формы. Температура подложек из никелида титана при осаждении покрытия не превышала 100 °С. Структурно-фазовое состояние покрытий из тантала определялось методом рентгеновской дифракции на разных этапах его формирования. Показано, что на начальном этапе осаждения формируются двухфазные покрытия (α- и β-Та). Синтез покрытия из Та приводит к увеличению межплоскостного расстояния аустенитной фазы В2 в кристаллографическом направлении (100), которое вызвано образованием микронапряжений при взаимодействии с налетающими ионами тантала. Параметры решетки фазы В19', ответственной за проявление эффекта памяти формы, при осаждении танталового покрытия не изменяются.